⑴ 晶元製作大致工藝流程有晶片材料、晶圓塗層、蝕刻、添加雜質和什麼
晶元內部製造工藝:
晶元製造的整個過程包括晶元設計、晶元製造、封裝製造、測試等。晶元製造過程特別復雜。
首先是晶元設計,根據設計要求,生成「圖案」
1、晶片材料
矽片的成分是硅,硅由石英砂精製而成。矽片經硅元素(99.999%)提純後製成硅棒,成為製造集成電路的石英半導體材料。晶元是晶元製造所需的特定晶片。晶圓越薄,生產成本就越低,但對工藝的要求就越高。
2、晶圓塗層
晶圓塗層可以抵抗氧化和溫度,其材料是一種光致抗蝕劑。
3、晶圓光刻顯影、蝕刻
首先,在晶圓(或基板)表面塗覆一層光刻膠並乾燥。乾燥的晶片被轉移到光刻機上。通過掩模,光將掩模上的圖案投射到晶圓表面的光刻膠上,實現曝光和化學發光反應。曝光後的晶圓進行二次烘烤,即所謂曝光後烘烤,烘烤後的光化學反應更為充分。
最後,顯影劑被噴在晶圓表面的光刻膠上以形成曝光圖案。顯影後,掩模上的圖案保留在光刻膠上。糊化、烘烤和顯影都是在均質顯影劑中完成的,曝光是在平版印刷機中完成的。均化顯影機和光刻機一般都是在線操作,晶片通過機械手在各單元和機器之間傳送。
整個曝光顯影系統是封閉的,晶片不直接暴露在周圍環境中,以減少環境中有害成分對光刻膠和光化學反應的影響。
⑵ 手機晶元是用什麼做的~~
晶元製作完整過程包括:晶元設計、晶片製作、封裝製作、成本測試等幾個環節,其中晶片製作過程尤為的復雜。
一、晶元設計
1、晶元的HDL設計
晶元構架的設計一般是通過專門的硬體設計語言Hardware Description Languages (HDL)來完成,所謂硬體設計語言( HDL),是一種用來描述硬體工作過程的語言。現在被使用的比較多的有 Verilog 、 VHDL。 這些語言寫成的代碼能夠用專門的合成器生成邏輯門電路的連線表和布局圖,這些都是將來發給晶元代工廠的主要生產依據。對於硬體設計語言( HDL)一般人都不會接觸到,在這里只給大家介紹一下:在程序代碼的形式上HDL和C也沒有太大的不同,但實際功能完全不同,比如Verilog語言中基本的一條語句:
always@(posedge clock) Q <= D;
這相當於C裡面的一條條件判斷語句,意思就是在時鍾有上升沿信號的時候,輸出信號 'D' 被儲存在'Q'。
通過此類的語句描述了觸發器電路組成的緩存和顯存之間數據交換的基本方式,綜合軟體依靠這些代碼描述出來的門電路的工作方式生成電路的。在晶元的設計階段基本上都是通過工程師們通過Verilog語言編制HDL代碼來設計晶元中的所有工作單元,也決定該晶元所能支持的所有技術特徵。這個階段一般要持續3到4個月(這取決於晶元工程的規模),是整個設計過程的基礎。
2、晶元設計的debug
在上述的工作完成後,就進入了產品設計的驗證階段,一般也有一兩個月的時間。這個階段的任務就是保證在晶元最後交付代工廠的設計方案沒有缺陷的,就是我們平時所說的產品的「bug」。這一個階段對於任何晶元設計公司來說都是舉足輕重的一步,因為如果晶元設計在投片生產出來以後驗證出並不能像設計的那樣正常工作,那就不僅意味著重新設計。整個驗證工作分為好幾個過程,基本功能測試驗證晶元內的所有的門電路能正常工作,工作量模擬測試用來證實門電路組合能達到的性能。當然,這時候還沒有真正物理意義上真正的晶元存在,這些所有的測試依舊是通過HDL 編成的程序模擬出來的。
3、晶元設計的分析
接下來的驗證工作開始進行分支的並行運作,一個團隊負責晶元電路的靜態時序分析,保證成品晶元能夠達到設計的主頻 ;另外一個主要由模擬電路工程師組成的團隊進行關於儲存電路,供電電路的分析修改。 和數字電路的修正工作相比,模擬工程師們的工作要辛苦的多,他們要進行大量的復數,微分方程計算和信號分析,即便是藉助計算機和專門的軟體也是一件很頭疼的事情。同樣,這時候的多有測試和驗證工作都是在模擬的狀態下進行的,最終,當上述所有的工作完成後,一份由綜合軟體生成的用來投片生產門電路級別的連線表和電路圖就完成了。
4、FPGA驗證
但是,圖形晶元設計者不會立即把這個方案交付廠家,因為它還要接受最後一個考驗,那就是我們通常所說的FPGA (Field Programmable Gate Array)現場可編程門陣列來對設計進行的最終功能進行驗證。 對於集成一億多個晶體管超級復雜晶元,在整個使用硬體設計語言( HDL)設計和模擬測試的過程中,要反復運行描述整個晶元的數十億條的指令和進行真正「海量」的數據儲存,因此對執行相關任務的的硬體有著近乎變態的考驗。
二、晶元製造
根據設計的需求,生成的晶元方案設計,接下來就是打樣了。
1、 晶元的原料晶圓
晶圓的成分是硅,硅是由石英沙所精練出來的,晶圓便是硅元素加以純化(99.999%),接著是將些純硅製成硅晶棒,成為製造集成電路的石英半導體的材料,將其切片就是晶元製作具體需要的晶圓。晶圓越薄,成產的成本越低,但對工藝就要求的越高。
2、晶圓塗膜
晶圓塗膜能抵抗氧化以及耐溫能力,其材料為光阻的一種,
3、晶圓光刻顯影、蝕刻
該過程使用了對紫外光敏感的化學物質,即遇紫外光則變軟。通過控制遮光物的位置可以得到晶元的外形。在硅晶片塗上光致抗蝕劑,使得其遇紫外光就會溶解。這是可以用上第一份遮光物,使得紫外光直射的部分被溶解,這溶解部分接著可用溶劑將其沖走。這樣剩下的部分就與遮光物的形狀一樣了,而這效果正是我們所要的。這樣就得到我們所需要的二氧化硅層。
4、攙加雜質
將晶圓中植入離子,生成相應的P、N類半導體。
具體工藝是是從矽片上暴露的區域開始,放入化學離子混合液中。這一工藝將改變攙雜區的導電方式,使每個晶體管可以通、斷、或攜帶數據。簡單的晶元可以只用一層,但復雜的晶元通常有很多層,這時候將這一流程不斷的重復,不同層可通過開啟窗口聯接起來。這一點類似所層PCB板的製作製作原理。 更為復雜的晶元可能需要多個二氧化硅層,這時候通過重復光刻以及上面流程來實現,形成一個立體的結構。
5、晶圓測試
經過上面的幾道工藝之後,晶圓上就形成了一個個格狀的晶粒。通過針測的方式對每個晶粒進行電氣特性檢測。 一般每個晶元的擁有的晶粒數量是龐大的,組織一次針測試模式是非常復雜的過程,這要求了在生產的時候盡量是同等晶元規格構造的型號的大批量的生產。數量越大相對成本就會越低,這也是為什麼主流晶元器件造價低的一個因素。
6、封裝
將製造完成晶圓固定,綁定引腳,按照需求去製作成各種不同的封裝形式,這就是同種晶元內核可以有不同的封裝形式的原因。比如:DIP、QFP、PLCC、QFN 等等。這里主要是由用戶的應用習慣、應用環境、市場形式等外圍因素來決定的。
7、測試、包裝
經過上述工藝流程以後,晶元製作就已經全部完成了,這一步驟是將晶元進行測試、剔除不良品,以及包裝。
三、晶元功能測試
完成了上面的一步,晶元就已經製造完成,接下來就是晶元的驗證
通常需要將晶元貼到PCB上,逐步驗證每一個功能是否正常。
⑶ 單晶硅晶元製造過程
製造晶元的基本原料
如果問及晶元的原料是什麼,大家都會輕而易舉的給出答案—是硅。這是不假,但硅又來自哪裡呢?其實就是那些最不起眼的沙子。難以想像吧,價格昂貴,結構復雜,功能強大,充滿著神秘感的晶元竟然來自那根本一文不值的沙子。當然這中間必然要經歷一個復雜的製造過程才行。不過不是隨便抓一把沙子就可以做原料的,一定要精挑細選,從中提取出最最純凈的硅原料才行。試想一下,如果用那最最廉價而又儲量充足的原料做成晶元,那麼成品的質量會怎樣,你還能用上像現在這樣高性能的處理器嗎?
除去硅之外,製造晶元還需要一種重要的材料就是金屬。目前為止,鋁已經成為製作處理器內部配件的主要金屬材料,而銅則逐漸被淘汰,這是有一些原因的,在目前的晶元工作電壓下,鋁的電遷移特性要明顯好於銅。所謂電遷移問題,就是指當大量電子流過一段導體時,導體物質原子受電子撞擊而離開原有位置,留下空位,空位過多則會導致導體連線斷開,而離開原位的原子停留在其它位置,會造成其它地方的短路從而影響晶元的邏輯功能,進而導致晶元無法使用。
這就是許多Northwood Pentium 4換上SNDS(北木暴畢綜合症)的原因,當發燒友們第一次給Northwood Pentium 4超頻就急於求成,大幅提高晶元電壓時,嚴重的電遷移問題導致了晶元的癱瘓。這就是intel首次嘗試銅互連技術的經歷,它顯然需要一些改進。不過另一方面講,應用銅互連技術可以減小晶元面積,同時由於銅導體的電阻更低,其上電流通過的速度也更快。
除了這兩樣主要的材料之外,在晶元的設計過程中還需要一些種類的化學原料,它們起著不同的作用,這里不再贅述。
晶元製造的准備階段
在必備原材料的採集工作完畢之後,這些原材料中的一部分需要進行一些預處理工作。而作為最主要的原料,硅的處理工作至關重要。首先,硅原料要進行化學提純,這一步驟使其達到可供半導體工業使用的原料級別。而為了使這些硅原料能夠滿足集成電路製造的加工需要,還必須將其整形,這一步是通過溶化硅原料,然後將液態硅注入大型高溫石英容器而完成的。
而後,將原料進行高溫溶化。中學化學課上我們學到過,許多固體內部原子是晶體結構,硅也是如此。為了達到高性能處理器的要求,整塊硅原料必須高度純凈,及單晶硅。然後從高溫容器中採用旋轉拉伸的方式將硅原料取出,此時一個圓柱體的硅錠就產生了。從目前所使用的工藝來看,硅錠圓形橫截面的直徑為200毫米。不過現在intel和其它一些公司已經開始使用300毫米直徑的硅錠了。在保留硅錠的各種特性不變的情況下增加橫截面的面積是具有相當的難度的,不過只要企業肯投入大批資金來研究,還是可以實現的。intel為研製和生產300毫米硅錠而建立的工廠耗費了大約35億美元,新技術的成功使得intel可以製造復雜程度更高,功能更強大的集成電路晶元。而200毫米硅錠的工廠也耗費了15億美元。下面就從硅錠的切片開始介紹晶元的製造過程。
單晶硅錠
在製成硅錠並確保其是一個絕對的圓柱體之後,下一個步驟就是將這個圓柱體硅錠切片,切片越薄,用料越省,自然可以生產的處理器晶元就更多。切片還要鏡面精加工的處理來確保表面絕對光滑,之後檢查是否有扭曲或其它問題。這一步的質量檢驗尤為重要,它直接決定了成品晶元的質量。
單晶硅錠
新的切片中要摻入一些物質而使之成為真正的半導體材料,而後在其上刻劃代表著各種邏輯功能的晶體管電路。摻入的物質原子進入硅原子之間的空隙,彼此之間發生原子力的作用,從而使得硅原料具有半導體的特性。今天的半導體製造多選擇CMOS工藝(互補型金屬氧化物半導體)。其中互補一詞表示半導體中N型MOS管和P型MOS管之間的交互作用。而N和P在電子工藝中分別代表負極和正極。多數情況下,切片被摻入化學物質而形成P型襯底,在其上刻劃的邏輯電路要遵循nMOS電路的特性來設計,這種類型的晶體管空間利用率更高也更加節能。同時在多數情況下,必須盡量限制pMOS型晶體管的出現,因為在製造過程的後期,需要將N型材料植入P型襯底當中,而這一過程會導致pMOS管的形成。
在摻入化學物質的工作完成之後,標準的切片就完成了。然後將每一個切片放入高溫爐中加熱,通過控制加溫時間而使得切片表面生成一層二氧化硅膜。通過密切監測溫度,空氣成分和加溫時間,該二氧化硅層的厚度是可以控制的。在intel的90納米製造工藝中,門氧化物的寬度小到了驚人的5個原子厚度。這一層門電路也是晶體管門電路的一部分,晶體管門電路的作用是控制其間電子的流動,通過對門電壓的控制,電子的流動被嚴格控制,而不論輸入輸出埠電壓的大小。准備工作的最後一道工序是在二氧化硅層上覆蓋一個感光層。這一層物質用於同一層中的其它控制應用。這層物質在乾燥時具有很好的感光效果,而且在光刻蝕過程結束之後,能夠通過化學方法將其溶解並除去。
光刻蝕
這是目前的晶元製造過程當中工藝非常復雜的一個步驟,為什麼這么說呢?光刻蝕過程就是使用一定波長的光在感光層中刻出相應的刻痕,由此改變該處材料的化學特性。這項技術對於所用光的波長要求極為嚴格,需要使用短波長的紫外線和大麴率的透鏡。刻蝕過程還會受到晶圓上的污點的影響。每一步刻蝕都是一個復雜而精細的過程。設計每一步過程的所需要的數據量都可以用10GB的單位來計量,而且製造每塊處理器所需要的刻蝕步驟都超過20步(每一步進行一層刻蝕)。而且每一層刻蝕的圖紙如果放大許多倍的話,可以和整個紐約市外加郊區范圍的地圖相比,甚至還要復雜,試想一下,把整個紐約地圖縮小到實際面積大小隻有100個平方毫米的晶元上,那麼這個晶元的結構有多麼復雜,可想而知了吧。
當這些刻蝕工作全部完成之後,晶圓被翻轉過來。短波長光線透過石英模板上鏤空的刻痕照射到晶圓的感光層上,然後撤掉光線和模板。通過化學方法除去暴露在外邊的感光層物質,而二氧化硅馬上在陋空位置的下方生成。
摻雜
在殘留的感光層物質被去除之後,剩下的就是充滿的溝壑的二氧化硅層以及暴露出來的在該層下方的硅層。這一步之後,另一個二氧化硅層製作完成。然後,加入另一個帶有感光層的多晶硅層。多晶硅是門電路的另一種類型。由於此處使用到了金屬原料(因此稱作金屬氧化物半導體),多晶硅允許在晶體管隊列埠電壓起作用之前建立門電路。感光層同時還要被短波長光線透過掩模刻蝕。再經過一部刻蝕,所需的全部門電路就已經基本成型了。然後,要對暴露在外的硅層通過化學方式進行離子轟擊,此處的目的是生成N溝道或P溝道。這個摻雜過程創建了全部的晶體管及彼此間的電路連接,沒個晶體管都有輸入端和輸出端,兩端之間被稱作埠。
重復這一過程
從這一步起,你將持續添加層級,加入一個二氧化硅層,然後光刻一次。重復這些步驟,然後就出現了一個多層立體架構,這就是你目前使用的處理器的萌芽狀態了。在每層之間採用金屬塗膜的技術進行層間的導電連接。今天的P4處理器採用了7層金屬連接,而Athlon64使用了9層,所使用的層數取決於最初的版圖設計,並不直接代表著最終產品的性能差異。
接下來的幾個星期就需要對晶圓進行一關接一關的測試,包括檢測晶圓的電學特性,看是否有邏輯錯誤,如果有,是在哪一層出現的等等。而後,晶圓上每一個出現問題的晶元單元將被單獨測試來確定該晶元有否特殊加工需要。
而後,整片的晶圓被切割成一個個獨立的處理器晶元單元。在最初測試中,那些檢測不合格的單元將被遺棄。這些被切割下來的晶元單元將被採用某種方式進行封裝,這樣它就可以順利的插入某種介面規格的主板了。大多數intel和AMD的處理器都會被覆蓋一個散熱層。在處理器成品完成之後,還要進行全方位的晶元功能檢測。這一部會產生不同等級的產品,一些晶元的運行頻率相對較高,於是打上高頻率產品的名稱和編號,而那些運行頻率相對較低的晶元則加以改造,打上其它的低頻率型號。這就是不同市場定位的處理器。而還有一些處理器可能在晶元功能上有一些不足之處。比如它在緩存功能上有缺陷(這種缺陷足以導致絕大多數的晶元癱瘓),那麼它們就會被屏蔽掉一些緩存容量,降低了性能,當然也就降低了產品的售價,這就是Celeron和Sempron的由來。
在晶元的包裝過程完成之後,許多產品還要再進行一次測試來確保先前的製作過程無一疏漏,且產品完全遵照規格所述,沒有偏差。
⑷ 晶元是如何製造的
晶元製作完整過程包括晶元設計、晶片製作、封裝製作、成本測試等幾個環節,其中晶片片製作過程尤為的復雜。
首先是晶元設計,根據設計的需求,生成的「圖樣」
1,晶元的原料晶圓
晶圓的成分是硅,硅是由石英沙所精練出來的,晶圓便是硅元素加以純化(99.999%),接著是將些純硅製成硅晶棒,成為製造集成電路的石英半導體的材料,將其切片就是晶元製作具體需要的晶圓。晶圓越薄,成產的成本越低,但對工藝就要求的越高。
2,晶圓塗膜
晶圓塗膜能抵抗氧化以及耐溫能力,其材料為光阻的一種,
3,晶圓光刻顯影、蝕刻
該過程使用了對紫外光敏感的化學物質,即遇紫外光則變軟。通過控制遮光物的位置可以得到晶元的外形。在硅晶片塗上光致抗蝕劑,使得其遇紫外光就會溶解。這是可以用上第一份遮光物,使得紫外光直射的部分被溶解,這溶解部分接著可用溶劑將其沖走。這樣剩下的部分就與遮光物的形狀一樣了,而這效果正是我們所要的。這樣就得到我們所需要的二氧化硅層。
4、攙加雜質
將晶圓中植入離子,生成相應的P、N類半導體。
具體工藝是是從矽片上暴露的區域開始,放入化學離子混合液中。這一工藝將改變攙雜區的導電方式,使每個晶體管可以通、斷、或攜帶數據。簡單的晶元可以只用一層,但復雜的晶元通常有很多層,這時候將這一流程不斷的重復,不同層可通過開啟窗口聯接起來。這一點類似所層PCB板的製作製作原理。更為復雜的晶元可能需要多個二氧化硅層,這時候通過重復光刻以及上面流程來實現,形成一個立體的結構。
5、晶圓測試
經過上面的幾道工藝之後,晶圓上就形成了一個個格狀的晶粒。通過針測的方式對每個晶粒進行電氣特性檢測。一般每個晶元的擁有的晶粒數量是龐大的,組織一次針測試模式是非常復雜的過程,這要求了在生產的時候盡量是同等晶元規格構造的型號的大批量的生產。數量越大相對成本就會越低,這也是為什麼主流晶元器件造價低的一個因素。
6、封裝
將製造完成晶圓固定,綁定引腳,按照需求去製作成各種不同的封裝形式,這就是同種晶元內核可以有不同的封裝形式的原因。比如:DIP、QFP、PLCC、QFN等等。這里主要是由用戶的應用習慣、應用環境、市場形式等外圍因素來決定的。
7、測試、包裝
經過上述工藝流程以後,晶元製作就已經全部完成了,這一步驟是將晶元進行測試、剔除不良品,以及包裝。
⑸ 集成電路製造五個步驟
半導體產業開始於上世紀。隨著 1947 年固體晶體管的發明, 半導體行業已經獲得了長足發展, 之後的發展方向是引入了集成電路和硅材料。集成電路將多個元件結合在了一塊晶元上,提高了晶元性能、降低了成本。隨著硅材料的引入,晶元工藝逐步演化為器件在矽片上層以及電路層的襯底上淀積。
晶元製造主要有五大步驟:矽片制備、晶元製造、晶元測試與挑選、裝配與封裝、終測。
晶元製造主要有五大步驟_國內矽片製造商迎來春天
晶元製造的五大步驟
(1)矽片制備。
首先是將硅從礦物中提純並純化,經過特殊工藝產生適當直徑的硅錠。然後將硅錠切割成用於製造晶元的薄矽片。最後按照不同的定位邊和沾污水平等參數製成不同規格的矽片。 本文討論的主要內容就是矽片制備環節。
(2)晶元製造。
裸露的矽片到達矽片制廠,經過各種清洗、成膜、光刻、刻蝕和摻雜等步驟,矽片上就刻蝕了一整套集成電路。晶元測試/揀選。 晶元製造完後將被送到測試與揀選區,在那裡對單個晶元進行探測和電學測試,然後揀選出合格的產品,並對有缺陷的產品進行標記。
(3)裝配與封裝。
矽片經過測試和揀選後就進入了裝配和封裝環節,目的是把單個的晶元包裝在一個保護殼管內。 矽片的背面需要進行研磨以減少襯底的厚度,然後把一個後塑料膜貼附在矽片背面,再沿劃線片用帶金剛石尖的鋸刃將矽片上每個晶元分開,塑料膜能保持晶元不脫落。在裝配廠,好的晶元被壓焊或抽空形成裝配包,再將晶元密封在塑料或陶瓷殼內。
(4)終測。
為確保晶元的功能, 需要對每一個被封裝的集成電路進行測試, 以滿足製造商的電學和環節的特性參數要求。
矽片製作的工藝流程
矽片制備之前是製作高純度的半導體級硅(semiconctor-grade silicon, SGS),也被稱為電子級硅。 制備過程大概分為三步,第一步是通過加熱含碳的硅石(SiO2) 來生成氣態的氧化硅 SiO;第二步是用純度大概 98%的氧化硅,通過壓碎和化學反應生產含硅的三氯硅烷氣體(SiHCl3); 第三步是用三氯硅烷經過再一次的化學過程,用氫氣還原制備出純度為 99.9999999%的半導體級硅。
晶元製造主要有五大步驟_國內矽片製造商迎來春天
半導體硅的生產過程
對半導體級硅進一步加工得到矽片的過程被稱為矽片制備環節。 矽片制備包括晶體生長、整型、切片、拋光、清洗和檢測等步驟,通過單晶硅生長、 機械加工、化學處理、表面拋光和質量檢測等環節最終生產出符合條件的高質量矽片。
⑹ 製造晶元到底有多難
晶元,也被稱為微電路、集成電路,一般是計算機等電子設備的重要組成部分,是現代科技最璀璨的結晶之一。晶元的製造過程十分復雜,它涉及到了幾十個不同的行業,幾千道復雜的工序。下面我就來仔細講一下晶元具體的製作流程。
中國晶元發展十分艱難,我國的晶元技術和國外對比相差了兩個時代,我們現在已經可以量產14nm的晶元了,而國外早就已經可以生存7nm的晶元,甚至是5nm的晶元。雖然我國在許多領域都取得了令世界矚目的成就,但是在晶元領域中國還是落後太多太多了,而且還是全方位的落後。不過最近幾年中國晶元行業發展十分迅速,相信要不了多久就能夠達到世界水平。
⑺ 讓你一下看懂晶元是如何製造出來的,你怎麼看呢
晶元可以被稱為現代信息產業的糧食,如果沒有晶元,所有的信息產品都要停擺。近來美國對華為的制裁,傳說中的對中芯國際的制裁,都是想從根本上阻擋中國信息產業的蓬勃發展之勢。
晶圓由高純度的硅製成
晶圓有不同的直徑。隨著技術的進步,晶圓的直徑總是在增加。大晶圓能生產更多的晶元,更少的浪費,因此能帶來更好的製造效率,降低成本。近年來,晶圓的直徑從4英寸(100mm)、6英寸(150mm),已經增加到8英寸(200mm)、12(300mm)英寸。未來還會增加到15英寸甚至20英寸。
不同的晶圓尺寸
製造晶元的過程,本質上來說就是在硅材料上實現一個個晶體管的過程。晶元裡面的晶體管可以抽象成下圖中的模式:
晶元里的晶體管
在硅晶體的上面,需要有一個二氧化硅絕緣層,再上面還有一個導電硅化合物層(圖中紅色部分),起到開關的作用。晶體管的電流流動模式如下圖所示:
晶體管內的電流流動
整個晶元的製造過程分為很多細小的步驟。首先晶圓要放進加熱爐(Furnace)里,爐子的溫度有1000℃,目的是將晶圓表面氧化,形成二氧化硅絕緣層。
晶圓被放進加熱爐中氧化
然後,在晶圓表面塗上光刻膠,這是為了進行晶圓曝光做准備。
⑻ 晶元是如何製造的立維
製造晶元的原料非常簡單,絕大部分來源於沙子,隨處可見,儲量非常豐富,取之不盡,用之不竭,所以原材料是不缺的。下面開始按步驟來製造
1、對沙子進行脫氧,提取沙子中的硅元素,這也是半導體製造產業的基礎元素。
2、硅熔煉 ,通過多脫氧,熔煉,凈化得到大晶體,就是大大的一坨,學名叫作硅錠。
3、把硅錠橫向切割成圓形的單個矽片,也就是大家所說的晶圓,晶圓會進行拋光打磨,打磨甚至可以拿出來當鏡子用的光滑度。
4、塗膠,在旋轉過程中向晶圓上均勻的塗上一層薄薄的膠。
5、光刻、通過光刻機把一個已經設計好晶元電路的芯板上所有的電路圖都刻在晶圓上,此時形成了晶元的核心電路圖案。
6、摻雜、在真空中向硅中添加其它的元素,以改變這些區域的導電性,這是為了下一步半導體晶體管製造奠定基礎。
7、MOS管是構成晶元門電路的核心,一個晶元有幾十億個這樣的晶體管來組成,這一步主要的工藝就是製造MOS晶體管,形成MOS管包括元極,漏極,門極,溝區等在內的原件,然後蓋上一層黃色的氧化層,再在最外層再覆蓋上一層銅,以便能與晶體管進行電路的連接。最後一道工序就是把他們磨平。
8、按照同樣的工序製造幾十億個這樣的晶體管,晶體管之間通過這些錯綜復雜的電路相連接,形成一個大型的集成電路。
9、檢測、丟棄有瑕疵的內核,這些晶體都是在納米級別的測試過程中,發現有瑕疵的內核將被拋棄。
10、切割、這樣一個晶圓上一次會產生多個晶元內核,現在把它切割成每一個單獨的晶元內核,切割後的晶元內核安裝在晶元的基座上,這就是一個晶元的成品了。
11、等級測試以及評定、對晶元的最高頻率,功耗,發熱等進行評價,按照測試結果,評定以不同的型號進行出廠銷售。
這就是製造一個晶元的全過程,看起來只有這11步,其實中間的工序有數千道,就是光刻這一道工序要經過上千次的反復操作。工序繁雜,對工藝的要求就非常高,不然生產出來的良品率會非常低,晶元的生產的每一道工序,必須達到100%的良品,就算每一次達到99%,到了最後一道,良品率可以還達不到10%,這樣制種出來的晶元成本會非常高。
⑼ 晶元的製造過程
晶元製作完整過程包括晶元設計、晶片製作、封裝製作、成本測試等幾個環節,其中晶片製作過程尤為的復雜。首先是晶元設計,根據設計的需求,生成的「圖樣」
1、 晶元的原料晶圓
晶圓的成分是硅,硅是由石英沙所精練出來的,晶圓便是硅元素加以純化(99.999%),接著是將這些純硅製成硅晶棒,成為製造集成電路的石英半導體的材料,將其切片就是晶元製作具體所需要的晶圓。晶圓越薄,生產的成本越低,但對工藝就要求的越高。
2、晶圓塗膜
晶圓塗膜能抵抗氧化以及耐溫能力,其材料為光阻的一種。
3、晶圓光刻顯影、蝕刻
該過程使用了對紫外光敏感的化學物質,即遇紫外光則變軟。通過控制遮光物的位置可以得到晶元的外形。在硅晶片塗上光致抗蝕劑,使得其遇紫外光就會溶解。這時可以用上第一份遮光物,使得紫外光直射的部分被溶解,這溶解部分接著可用溶劑將其沖走。這樣剩下的部分就與遮光物的形狀一樣了,而這效果正是我們所要的。這樣就得到我們所需要的二氧化硅層。
4、摻加雜質
將晶圓中植入離子,生成相應的P、N類半導體。
具體工藝是是從矽片上暴露的區域開始,放入化學離子混合液中。這一工藝將改變攙雜區的導電方式,使每個晶體管可以通、斷、或攜帶數據。簡單的晶元可以只用一層,但復雜的晶元通常有很多層,這時候將這一流程不斷的重復,不同層可通過開啟窗口聯接起來。這一點類似多層PCB板的製作原理。 更為復雜的晶元可能需要多個二氧化硅層,這時候通過重復光刻以及上面流程來實現,形成一個立體的結構。
5、晶圓測試
經過上面的幾道工藝之後,晶圓上就形成了一個個格狀的晶粒。通過針測的方式對每個晶粒進行電氣特性檢測。一般每個晶元的擁有的晶粒數量是龐大的,組織一次針測試模式是非常復雜的過程,這要求了在生產的時候盡量是同等晶元規格構造的型號的大批量的生產。數量越大相對成本就會越低,這也是為什麼主流晶元器件造價低的一個因素。
6、封裝
將製造完成晶圓固定,綁定引腳,按照需求去製作成各種不同的封裝形式,這就是同種晶元內核可以有不同的封裝形式的原因。比如:DIP、QFP、PLCC、QFN等等。這里主要是由用戶的應用習慣、應用環境、市場形式等外圍因素來決定的。
7、測試、包裝
經過上述工藝流程以後,晶元製作就已經全部完成了,這一步驟是將晶元進行測試、剔除不良品,以及包裝。
⑽ 晶元製造過程圖解
晶元製造過程:光刻、刻蝕、薄膜(化學氣相沉積或物理氣相沉積)、摻雜(熱擴散或離子注入)、化學機械平坦化CMP。
使用單晶硅晶圓(或III-V族,如砷化鎵)用作基層,然後使用光刻、摻雜、CMP等技術製成MOSFET或BJT等組件,再利用薄膜和CMP技術製成導線,如此便完成晶元製作。
因產品性能需求及成本考量,導線可分為鋁工藝(以濺鍍為主)和銅工藝(以電鍍為主參見Damascene)。主要的工藝技術可以分為以下幾大類:黃光微影、刻蝕、擴散、薄膜、平坦化製成、金屬化製成。
(10)晶元製成工藝哪個步驟成本最高擴展閱讀
晶元具有體積小,重量輕,引出線和焊接點少,壽命長,可靠性高,性能好等優點,同時成本低,便於大規模生產。它不僅在工、民用電子設備如收錄機、電視機、計算機等方面得到廣泛的應用,同時在軍事、通訊、遙控等方面也得到廣泛的應用。
用晶元來裝配電子設備,其裝配密度比晶體管可提高幾十倍至幾千倍,設備的穩定工作時間也可大大提高。